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气压传感器

 

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何谓气压传感器?

气压传感器是检测大气压力的传感器。
根据要测量的压力值,压力传感器具有如下所示的各种材料和方法的传感器。
在这些压力传感器中,检测大气压力(用于气压检测)的传感器通常被称为气压传感器。

[使用的材料 - 按方式分类的压力传感器]

使用的材料 - 按方式分类的压力传感器

气压传感器的典型示例是使用硅(Si)半导体的压阻式。
罗姆提供的气压传感器也是压阻式气压传感器。

压阻式气压传感器

压阻式气压传感器使用Si单晶板作为隔膜(压力接收元件),通过在其表面上扩散杂质形成电阻桥电路,将施加压力时产生的变形作为电阻值变化,来计算压力(气压)。

[压阻式气压传感器]

[压阻式气压传感器]

电阻率(电导率)因施加在该电阻上的压力而变化的现象称为压阻效应。罗姆的气压传感器IC将使用压阻式压力接收元件(隔膜结构和压阻集成在一起MEMS),以及温度校正处理、控制电路等的集成电路(ASIC)集成在一个封装里,可以轻松获得高精度的气压信息。

MEMS:Micro Electro Mechanical System(微机电系统)
在一个电路板上集成机械构成部件、传感器、执行机构(驱动部件)等的装置。

ASIC:Application Specific Integrated Circuit(专用集成电路)
它是一种集成电路,将多个电路功能组合成一个特定应用。

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