压电（Piezo）
何谓压电？
压电表示压电元件（Piezoelectric Element、Piezoelectric Device），压电元件是指通过施加力（压力）产生电压（压电效应），或与之相反，通过施加电压产生变形（逆压电效应）的元件。
压电元件使用具有压电效应的压电材料。施力时，（+）正离子、（-）负离子的位置会移动，产生（+）和（-）电荷的偏移（电极化），从而产生电压。
利用压电效应的主要用途是传感器，利用逆压电效应的主要用途是执行机构。
压电材料的种类
压电材料大致分为单晶、陶瓷、薄膜等。
罗姆采用的是使用锆钛酸铅（PZT）的薄膜压电。
PTZ取自元素符号（PbZrxTi1-xO3）（0<x<1）的首字母，压电性能非常强，称得上是压电元件的主角。
薄膜压电和块体压电
大致将厚度约为几μm的叫作薄膜压电（压电薄膜），几十μm以上的叫作块体压电（厚膜压电）。
利用薄膜压电可以实现元件的小型化、集成化、高精度化、低功耗化。
薄膜PZT的成膜方法
生成薄膜PZT的方法有溶胶凝胶法、溅射法、MOCVD法等。下表汇总了其各自的特点。
| 溶胶凝胶法 | 溅射法 | MOCVD法 | |
|---|---|---|---|
| 将溶胶状态的液体涂布在电路板上，通过加热、烧成使其成膜。为了获得所需的膜厚，基本上需要将上述循环重复多次 | 用高能Ar离子撞击目标，使撞击产生的目标物质附着在电路板上成膜。 | 向反应室内通入化合物气体，利用温度和等离子体促进气体化学反应，成膜温度较低。 | |
| 压电性能 | 非常好 | 非常好 | 不确定 |
| 吞吐量 | 一般 | 好 | 差 |
| 可靠性 | 非常好 | 一般 | 好 |
| 均一性 | 非常好 | 好 | 好 |
| 极化稳定性 | 一般 | 好 | 一般 |
| 费用 | 一般 | 一般 | 一般 |
| 应用 | Actuator （1～3μm） | Actuator or Sensor （1～5μm） | FeRAM （＜100nm） |
罗姆的薄膜压电MEMS代工为实现融合自有薄膜压电和LSI微细加工技术的小型、节能、高性能产品，提供从试制、开发到量产的全程支持。
下页是 关于压电相关术语 语的简要总结。
